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Unidades 6.2 fumigación al vacío

Para la deposición de vacío, el equipo tecnológico se utiliza para el funcionamiento por lotes, semicontinuo y continuo. Las plantas de dosificación realizan un ciclo de deposición de película en un número dado de artículos cargados. Las plantas continuas se utilizan para la producción en masa y la producción en masa. Son de dos tipos: multi-cámara y multi-posición de una cámara. La primera consiste en módulos de pulverización dispuestos secuencialmente, en cada uno de los cuales se pulverizan las películas de ciertos materiales o se realiza su tratamiento y control térmico. Los módulos están interconectados por las cámaras de compuerta y el dispositivo transportador de transporte. Las unidades de una cámara de varias posiciones contienen varias estaciones de pulverización (situadas en una cámara de vacío), conectadas mediante un dispositivo de transporte de tipo transportador o rotatorio. Las unidades principales y sistemas de instalaciones para deposición al vacío son dispositivos independientes que realizan las funciones especificadas:

  • la creación de vacío
  • evaporación o pulverización catódica material de película
  • transporte de piezas
  • control de las condiciones de deposición al vacío y propiedades de la película
  • poder.