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Unidades 6.2 fumigación al vacío

Para utilizar el proceso de deposición de vacío equipo de proceso por lotes, semi-lotes y continua. Instalación lote se lleva a cabo un ciclo de deposición de película para un número determinado de productos descargables. ajustes continuos utilizados en la producción en serie y en masa. Son de dos tipos: de cámaras múltiples y multi-cámara única. El primero se compone de módulos de pulverización catódica sucesivos en cada uno de los cuales las películas de galvanoplastia de determinados materiales o tratamiento térmico y control. Los módulos se combinan entre sí y con bloqueo de cámaras que transportan dispositivo de transporte. la instalación de pulverización catódica-Multi-sola cámara contiene varias estaciones (situado en una cámara de vacío), conectados al dispositivo de transporte o un transportador giratorio. componentes y sistemas para el sistema de deposición al vacío Key es un dispositivo autónomo, lleve a cabo las funciones especificadas:

  • la creación de vacío
  • evaporación o pulverización catódica material de película
  • transporte de piezas
  • control de las condiciones de deposición al vacío y propiedades de la película
  • poder.